Topografija poluvodičkih proizvoda - niz odgovarajućih slika koje su nepromjenjivo oblikovane ili kodirane na bilo koji način i predstavljaju trodimenzionalni uzorak slojeva od kojih je poluvodički proizvod sastavljen i u kojem nizu svaka slika prikazuje uzorak ili dio uzorka površine poluvodičkog proizvoda na bilo kojem stupnju njegove izradbe.